氦氣作為重要的工業氣體，在半導體、新能源、航天等領域發揮著關鍵作用。為確保設備密封性和氦氣純度，精準的檢測技術不可或缺。本文介紹氦氣檢測的核心方法及其應用，助力不同場景下的高效檢測需求。

一、氦氣泄漏檢測：氦質譜檢漏技術

氦質譜檢漏是工業中最常用的泄漏檢測手段，其原理基于氦氣的高滲透性和質譜儀的離子分離能力。主要分為兩類：

1. 真空檢漏法：將被檢件抽真空后，外部噴氦氣。若存在漏孔，氦氣進入真空系統，質譜儀通過檢測氦離子信號定位泄漏點。該方法靈敏度極高，如航天器檢測的漏率可達5×10?13 Pa·m3/s。

2. 正壓檢漏法：向被檢件充入氦氣加壓，利用吸槍或包裹法在外側檢測逸出的氦氣，適用于高壓容器檢測。例如，動力電池PACK系統通過真空箱法驗證IP67防護等級，漏率要求≤10?? mbar·L/s。

二、氦氣純度檢測：色譜與光譜分析技術

高純氦氣的純度直接影響應用效果，其檢測需精準識別雜質成分：

1. 色譜分析法：利用色譜儀分離并檢測氦氣中的痕量雜質。例如，通過變溫濃縮技術預富集雜質，再以熱導池檢測器分析，可測定ppm級雜質含量。該方法需高純載氣（如純度≥99.999%的氦氣）與精密色譜柱。

2. 氦離子化檢測器（PDHID）：基于脈沖放電原理，電離氦氣中的雜質分子，通過測量離子信號實現ng/g級檢測。PDHID適用于高純氣體質控，具有非放射性、高通用性優勢，滿足GB/T3634.2等國際標準。

三、技術發展與場景適配

1. 工業應用優化：新能源領域采用氦罩法自動化掃描電池焊縫，半導體行業以背壓法保障晶圓腔體密封（漏率≤5×10?1? Pa·m3/s）。

2. 替代技術探索：為緩解氦氣稀缺，廣舜檢測開發電解液示蹤技術替代傳統氦注入，降低檢測成本。

3. 智能化升級：雅馬哈機器人直連系統與MES集成，實現自動化檢漏數據管理。