四氟化碳（CF?），又稱四氟甲烷，是一種無色、無味的氣體，因其卓越的化學穩定性與優異的絕緣性能，在電子工業、低溫制冷、激光技術等領域扮演著關鍵角色。其制備工藝歷經多年發展，形成了多樣化的技術路徑，推動著相關產業的持續創新。

一、氟碳直接合成法：主流工業路徑

氟碳直接合成法以碳與氟氣直接反應為核心，是當今工業制備四氟化碳的主流方法。該方法通過將碳粉（如石油焦）與氟氣在高溫反應器中進行反應，生成四氟化碳。其優勢在于原料易得、產物純度高，且可通過調控反應溫度與壓力實現規模化生產。日本關東電化等企業采用此工藝，結合抑爆劑技術，顯著提升了安全性與效率，使產品純度達99.999%以上，滿足電子蝕刻等高精度需求。

二、氫氟甲烷氟化法：高效清潔路線

氫氟甲烷氟化法通過氟氣與氫氟甲烷（如CH?F?）反應，生成四氟化碳。該路線無需催化劑，反應條件溫和，且副產物可回收利用，符合綠色化學理念。昭和電工開發的循環稀釋氣技術進一步優化了反應體系，通過多級反應與精餾裝置，實現了氟原子利用率最大化，成為高純電子級CF?的重要補充工藝。

三、氟氯甲烷氟化法：傳統技術的迭代

早期工業依賴氟氯甲烷（如CF?Cl）與氫氟酸反應制備CF?，但受限于原料毒性與副產物處理難題。現代技術通過負載型鉻催化劑與多段反應系統，顯著提升了反應選擇性與安全性。盡管原料受限，該工藝仍在特定領域保留應用，為技術迭代提供了歷史經驗。

四、烷烴直接氟化法：挑戰與改進

烷烴（如甲烷）直接氟化法因反應劇烈、產物復雜，工業化應用面臨挑戰。杜邦等企業通過優化催化劑（如Cr?O?）與反應條件，實現了可控氟化，但高能耗與低收率問題仍待解決。該路線多用于實驗室研究，為新型氟化技術提供理論基礎。