氦氣是為無(wú)色無(wú)味，不可燃?xì)怏w，而高純氦氣是一種無(wú)色、無(wú)味、無(wú)毒的不燃燒的儲(chǔ)存于氣瓶中的高壓氣體。通常氦氣被用于超低溫研究、氣相分析、焊接、探漏、化學(xué)氣相淀積、晶體生長(zhǎng)、等離子干刻、特種混合氣等。今天中鑫瑞遠(yuǎn)小編為大家介紹一下氦氣的新用途：微小化氦氣電漿放射光譜應(yīng)用于氣相層析偵測(cè)器研制的作用。

電漿是氣體激發(fā)、離子化等反應(yīng)的最好能量來(lái)源之一，當(dāng)氣體受到激發(fā)或離子化時(shí)，會(huì)產(chǎn)生光譜和電流上的訊號(hào)變化，因此可以應(yīng)用于氣體的偵測(cè)。微小化的電漿裝置可以減少電力和氣體的消耗，恰好適用在微小化快速分析用氣相層析儀的偵測(cè)器發(fā)展。為了達(dá)到低偵測(cè)下限，并且可以定性測(cè)量各種樣品和具備廣泛偵測(cè)的能力，因此本研究使用直徑50μm鎢絲切面相距50μm做為電極，在玻璃基板上自行組裝出微小電漿氣體偵測(cè)器，在常壓的氦氣中，使用±950V、2kHz的三角波形電源，搭配22pF高壓陶瓷電容限制電漿電流，電漿本身體積大約0.1nL，消耗功率大約0.3mW，有效解決一般大電漿裝置散熱的問(wèn)題和減少電極蝕刻速率，并且足以產(chǎn)生穩(wěn)定電漿之電場(chǎng)梯度；在本實(shí)驗(yàn)當(dāng)中以成功的利用686nm的F原子光譜、837nm的Cl原子光譜和827nm的Br原子光譜和776nm的氧原子自由基光譜，定性和定量測(cè)量混合有機(jī)氣體，兼具微小、省電、穩(wěn)定、耐用、定性與定量分析的功能，在本研究的測(cè)試系統(tǒng)中，初步偵測(cè)極限已達(dá)到數(shù)十pg范圍，在微小氣體偵測(cè)器的應(yīng)用上，本研究的設(shè)計(jì)提供一種新穎而高功能的選擇。

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