什么是電子特氣？

電子特種氣體是電子氣體的一個重要分支，是集成電路、顯示面板等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的原材料。電子特氣種類眾多，廣泛應(yīng)用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等環(huán)節(jié)，被稱為集成電路、液晶面板、LED及光伏等材料的“糧食”和“源”，決定了器件的最終良率和可靠性。電子特氣廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子和相關(guān)的太陽能電池等高科技產(chǎn)業(yè)，或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、保護氣氛等等。由于半導(dǎo)體和微電子技術(shù)向更高性能、更高集成度發(fā)展，對電子特氣的純度提出了越來越高的要求，電子特氣的的凈化愈加關(guān)鍵和重要。電子特氣上游多為III(硼、鋁、鎵)、IV(碳、硅、鍺)、V(氮、磷、砷)族元素及鹵族元素(氟、氯)的基礎(chǔ)化工產(chǎn)業(yè)，下游在集成電路、面板、LED等領(lǐng)域的各個工藝環(huán)節(jié)均有多種用途。電子特氣是集成電路、顯示面板等電子工業(yè)生產(chǎn)不可或缺的原材料，2021年，電子特氣在集成電路中的應(yīng)用占比達43%，其次為顯示面板，占比21%，LED和光伏分別占比13%，6%，主要應(yīng)用環(huán)節(jié)包括離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等。

常見的電子特氣有哪些？

高純度的C4F6、SiHCl3、HF、HCl、HBr、F2、SiH4、PH3、AsH3、B2H6、C4F8、N2O、NH3、SF6、NF3、COS、CF4、BCl3、BF3、Cl2、Si2H6等.為了保證半導(dǎo)體器件的質(zhì)量與成品率，特種氣體產(chǎn)品要同時滿足“超純”和“超凈”的要求，“超純”要求氣體純度達到 4.5N、5N 甚至 6N、7N，作為特種氣體的核心參數(shù)，純度每提升一個N，粒子、金屬雜質(zhì)含量濃度每降低一個數(shù)量級，都將帶來工藝復(fù)雜度和難度的顯著提升。（N 是 Nine 的簡寫，幾個 N 就代表有幾個 9，例如 3N 的純度99.9%），“超凈”即要求嚴格控制粒子與金屬雜質(zhì)的含量。目前國內(nèi)企業(yè)普遍做到5-6N，而林德和法液空等海外領(lǐng)先企業(yè)技術(shù)可達6-9N。山東中天科技有限公司可進行電子級氟化氫、氟氣、六氟丁二烯、六氟丙烷、乙硼烷、乙硅烷、三氯氫硅、三甲基硅烷、電子級氯氣、四氯化硅等產(chǎn)品的設(shè)計工作，山東中天可以實現(xiàn)前期設(shè)計、過程跟蹤、后期優(yōu)化的“一站式”設(shè)計服務(wù)。秉承客戶至上，為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和高質(zhì)量的服務(wù)的公司使命，融入到與客戶的共贏發(fā)展中去；著力打造外塑形象、內(nèi)強技術(shù)，在較短的時間內(nèi)拿出優(yōu)秀的設(shè)計，把我院打造成全國乃至國際精細化工及高端材料產(chǎn)業(yè)設(shè)計的主力軍。

市場如何？

2016年中國的特種氣體市場規(guī)模為156億元，至2020年達到282億元，2016-2020年期間中國特種氣體市場平均增速達15%以上，增速明顯.有機構(gòu)預(yù)測2020年之后仍將保持以15%以上高速增長趨勢，2025年中國特氣市場有望達到691億元的規(guī)模。同時，國內(nèi)電子特氣行業(yè)技術(shù)研發(fā)穩(wěn)步推進，有望實現(xiàn)進口替代。2020年全球電子氣體市場規(guī)模58.5億美元，預(yù)計在2025年將超過80億美元，年復(fù)合增速達到6.5%。國產(chǎn)電子特氣市場未來將有較大增長空間。