1.氣相色譜法

氣相色譜法適用于氫氣、氧氣、氮?dú)狻鍤狻⒑狻⒁谎趸肌⒍趸嫉葻o機(jī)氣體，甲烷、乙烷、丙烯及C3以上的絕大部分有機(jī)氣體的分析。

氣相色譜儀主要由氣路系統(tǒng)、進(jìn)樣系統(tǒng)、柱恒溫箱、色譜柱、檢測(cè)器和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等組成。 用氣相色譜法分析標(biāo)準(zhǔn)氣體，要想獲得準(zhǔn)確可靠的

分析結(jié)果，首先必須建立分析方法，選擇合適的操作條件和操作技術(shù)。

2.微量氧分析儀

微量氧分析儀：在高純氣體的分析中，幾乎所有的高純氣體中都要求準(zhǔn)確測(cè)定其中微量氧的含量。由于大氣中含有大量的（21%）氧，準(zhǔn)確測(cè)定

高純氣體中微量氧乃至痕量氧，是氣體分析中的難點(diǎn)之一。

3.化學(xué)發(fā)光法

化學(xué)發(fā)光法是利用某些化學(xué)反應(yīng)所產(chǎn)生的發(fā)光現(xiàn)象對(duì)組分進(jìn)行分析的方法，具有靈敏度高，選擇性好，使用簡單方法、快速等特點(diǎn)。適用硫化物、

氮氧化物、氨等標(biāo)準(zhǔn)氣體的分析。

4.微量水分析儀

微量水分也是評(píng)價(jià)高純氣體質(zhì)量的主要指標(biāo)之一。幾乎所有的高純氣體都對(duì)水分有嚴(yán)格的要求，準(zhǔn)確測(cè)量和嚴(yán)格控制高純氣體中水分含量，才能

保證高純氣體的質(zhì)量。

5.非色散紅外分析法

非色散紅外氣體分析器是利用不同的氣室和檢測(cè)器測(cè)量混合氣體中的一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫、氨、甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、乙炔等組分

的含量。非色散紅外氣體分析器主要由紅外光源、試樣室、濾波器、斬波器、檢測(cè)器、放大器及數(shù)據(jù)顯示裝置組成。

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