氦氣是理想的泄漏檢測氣體

首先，因為氦的最外層電子是2，而氦只有一層電子，第一層電子是2。這意味著已經(jīng)達到了穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)。因此，氦氣的化學(xué)性質(zhì)相對穩(wěn)定，不容易反應(yīng)、爆炸等。

在一些更有價值的設(shè)備中，如飛機、航天器等，我更喜歡使用氦氣作為泄漏檢測氣體。然而，氦在自然界中的儲量較少，成本較高。因此，為了節(jié)省成本，

一些公司還選擇氫氣和氮氣的混合物作為檢漏氣體，或者直接選擇氮氣作為檢漏氣體。

氦泄漏檢測在半導(dǎo)體中的作用

為了防止半導(dǎo)體器件、集成電路和其他部件的表面性能因水蒸氣等雜質(zhì)而惡化，有必要使用外殼密封。然而，由于各種原因，在管和外殼或探針的連接處通常會有肉眼難以

識別的小孔。因此，在封裝部件之后，需要一些方法來檢測這些小孔的存在或不存在。氦泄漏檢測包括使用氦來檢查電子元件封裝管殼中的小孔。由于氦原子的體積很小，它

們很容易穿過管殼上的小孔。這種檢測方法可以檢測漏氣率約為10-11至10-12cm3/sec的小孔，其靈敏度可以與放射性泄漏檢測方法相媲美，但比放射性泄漏檢測法更簡單。

氦氣泄漏檢測測試方法：首先，將封裝好的部件放入充氦容器中，加壓，使氦氣通過小孔進入管殼；然后提取出來，用壓縮空氣吹出管殼表面殘留的氦氣；然后，使用質(zhì)譜儀來

檢測氦泄漏到管殼外部。