顯示屏是有源矩陣薄膜晶體管（TFT），在二世紀九十年代開始投入民用，到如今已經是我們生活中不可或缺的組成部分，它在我們生活中已經是隨處可見了，大家天天離不開的手機、電視，馬路上的廣告、標牌等等。

顯示屏的制造與半導體器件的制造有許多相似的地方，不僅生產工藝步驟十分相似，而且在制造過程中都需要使用大量的氣體，使用的氣體類型也大都相同。

今天中鑫瑞遠小編就和大家一起來了解一下特種氣體在顯示屏生產中的應用。

顯示屏生產中用到氣體主要分為量大類：電子特種氣體和電子大宗氣體。電子特種氣體主要指硅烷、六氟化硫、三氟化氮、氨氣及磷化氫混合物，占生產制造使用氣體的52%；電子大宗氣體指氦氣、氮氣、氧氣、氫氣、二氧化碳和氬氣，占生產制造使用氣體的48%。

硅烷：SiH4是顯示屏制造中最關鍵的氣體之一，與氨氣（NH3）結合使用，形成用于a-Si晶體管的氮化硅層，與氮氣（N2）結合使用，形成用于LTPS晶體管的預準分子激光退火a-Si，或與氧化亞氮（N2O）結合使用形成MO晶體管的氧化硅層。

三氟化氮：從a-Si和LTPS顯示屏生產中的消耗和使用量來看，NF3是a-Si和LTPS顯示屏生產中使用最多的單種電子材料，而在MO生產中，其使用量不如N2O。NF3用于清潔PECVD腔室。對于這種氣體，需要具備可擴展性，才能在競爭激烈的市場中建立所需的成本優勢。

氧化亞氮：LTPS和MO顯示屏生產中均使用，從MO生產中的消耗和使用量來看，N2O已超過NF3成為MO生產中用量最多的電子材料。N2O是一種區域性、本地化的產品，由于其成本低，無法采用物流成本高昂的長供應鏈。平均每5.5平方米素玻璃重約2公斤，每月一般需要240噸N2O才能生產120K的8.5 MO顯示屏。最大的N2O壓縮氣體拖車每次只能提供6噸N2O，對于MO生產來說，這種做法成本高，風險大。

氮氣：一般的大型顯示屏廠氮氣需求可高達50,000 Nm3/小時，因此現場發生器是一種具有成本效益的解決方案，與傳統的氮氣工廠相比，顯示屏制造中的CO2（二氧化碳）排放減少8％。

氦氣：氦氣用于流程中和流程后冷卻玻璃。由于氦氣是一種不可再生氣體，鑒于其成本和可得性，制造商正在研究減少氦氣的使用。