可用于低溫冷源和超導技術。也可用作高真空裝置、原子核反應堆、宇宙飛船等的檢漏劑及鎂、鋯、鋁、鈦等金屬焊接的保護氣。在火箭、宇宙飛船中用作輸送Chemicalbook液氫、液氧等液體推進劑的加壓氣體。還用作原子反應堆的清洗劑、氣體色譜分析的載氣、氣球充氣、電弧焊用保護氣、潛水用混合氣和氣體溫度計的填充氣。